发明名称 |
具有半导体芯片和金属板的半导体设备及其制造方法 |
摘要 |
一种半导体设备包括用于覆盖第一金属布线(18)的第一保护膜(25)。第二保护膜(26)布置于第一保护膜(25)上,第二保护膜(26)由焊料层(29)覆盖。即使在焊料层(29)形成于第二保护膜(26)上之前裂纹产生于第二保护膜(26)中,也限制裂纹行进入第一保护膜(25)。 |
申请公布号 |
CN101996957A |
申请公布日期 |
2011.03.30 |
申请号 |
CN201010258186.2 |
申请日期 |
2010.08.18 |
申请人 |
株式会社电装 |
发明人 |
福冈大辅;手岛孝纪;真光邦明;坂本健;富坂学;藤井哲夫;田井明;赤松和夫;西畑雅由 |
分类号 |
H01L23/00(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/00(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
陈珊;刘兴鹏 |
主权项 |
一种半导体设备,其包括:包括半导体元件的半导体芯片(10),其中半导体芯片(10)还包括第一区域和第二区域,并且具有第一表面和第二表面;布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第一区域电耦合的表面电极(17);布置于半导体芯片(10)的第一表面上并且与半导体芯片(10)的第二区域电耦合的第一金属布线(18),其中第一金属布线(18)控制将施加至第二区域的电势;布置于表面电极(17)上的金属层(27,28);覆盖第一金属布线(18)的第一保护膜(25);覆盖至少一部分表面电极(17)和至少一部分第一金属布线(18)并且与金属层(27,28)和表面电极(17)经由焊料层(29)电耦合的金属板(30),其中焊料层(29)布置于金属层(27,28)上;以及布置于所述至少一部分第一金属布线(18)上的绝缘层(18b),其经由焊料层(29)和第一保护膜(25)由金属板(30)覆盖,其中半导体芯片(10)、表面电极(17)、第一金属布线(18)和金属板(30)被封装,并且其中绝缘层(18b)布置于所述一部分第一金属布线(18)和第一保护膜(25)之间。 |
地址 |
日本爱知县 |