发明名称 一种晶体硅太阳能电池的选择性扩散工艺
摘要 本发明属于晶硅太阳能电池的制作领域,具体涉及一种晶体硅太阳能电池的选择性扩散工艺。该发明采用在印刷区域镭射掺杂的方法,实现选择性发射极太阳能电池的制备,其工序包括,高方阻扩散,印刷区域镭射掺杂,磷硅玻璃去除,在进行激光镭射前不需要喷涂或旋涂任何磷源,能降低选择性发射极晶体硅太阳能电池制作的成本。与其他选择性扩散工艺相比,具有工艺简单,成本低,易于工业化生产的特点。
申请公布号 CN101997060A 申请公布日期 2011.03.30
申请号 CN201010516839.2 申请日期 2010.10.25
申请人 山东力诺太阳能电力股份有限公司 发明人 程亮;刘鹏;姜言森;李玉花;徐振华;张春燕;任现坤;王兆光;杨青天
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人 宋玉霞
主权项 一种晶体硅太阳能电池的选择性扩散工艺,其特征在于,包含以下工艺步骤:高方阻扩散,印刷区域镭射掺杂,磷硅玻璃去除。
地址 山东省济南市经十东路30766号力诺科技园力诺太阳能电力股份有限公司