发明名称 |
一种晶体硅太阳能电池的选择性扩散工艺 |
摘要 |
本发明属于晶硅太阳能电池的制作领域,具体涉及一种晶体硅太阳能电池的选择性扩散工艺。该发明采用在印刷区域镭射掺杂的方法,实现选择性发射极太阳能电池的制备,其工序包括,高方阻扩散,印刷区域镭射掺杂,磷硅玻璃去除,在进行激光镭射前不需要喷涂或旋涂任何磷源,能降低选择性发射极晶体硅太阳能电池制作的成本。与其他选择性扩散工艺相比,具有工艺简单,成本低,易于工业化生产的特点。 |
申请公布号 |
CN101997060A |
申请公布日期 |
2011.03.30 |
申请号 |
CN201010516839.2 |
申请日期 |
2010.10.25 |
申请人 |
山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
发明人 |
程亮;刘鹏;姜言森;李玉花;徐振华;张春燕;任现坤;王兆光;杨青天 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
济南舜源专利事务所有限公司 37205 |
代理人 |
宋玉霞 |
主权项 |
一种晶体硅太阳能电池的选择性扩散工艺,其特征在于,包含以下工艺步骤:高方阻扩散,印刷区域镭射掺杂,磷硅玻璃去除。 |
地址 |
山东省济南市经十东路30766号力诺科技园力诺太阳能电力股份有限公司 |