基板上浮装置

摘要

本发明在使基板(2)上浮的状态下，利用升降机构(6)，使设置在支承构件(10)的前端上的接触构件(13)上升，使该接触构件(13)接触基板(2)的背面，从而限制上浮的基板(2)的移动。

主权项

一种基板上浮装置，其特征在于，具有：使上述基板上浮的上浮台；接触构件，与上浮于上述上浮台之上的上述基板的背面接触，限制上述基板的移动；支承构件，在前端部设有上述接触构件；以及升降机构，用于使上述支承构件上升，并使上述接触构件与被上述上浮台浮起的上述基板的背面接触，从而对上述基板的移动进行限制，该升降机构由伸缩杆和用于使该伸缩杆伸缩的气压缸构成，上述气压缸使上述伸缩杆伸缩的伸缩行程被预先设定为如下长度：在从上述伸缩杆收缩时的上述接触构件的上部面到上浮于上述上浮台之上的上述基板的下表面的距离上，加上产生使上述接触构件与上浮的上述基板的下表面接触、而不使上述基板移动的接触阻力的程度的微小距离。