| 发明名称 | 用于抓取晶圆的机械手 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种用于抓取晶圆的机械手，包括至少两个凸起部，所述每一个凸起部具有开口，所述开口中设置有滚轴。本发明提出的用于抓取晶圆的机械手，改进机械手接触点的结构，以改善现有晶圆和机械手摩擦损伤，满足晶圆生产的要求。 | ||
| 申请公布号 | CN101992466A | 申请公布日期 | 2011.03.30 |
| 申请号 | CN200910194614.7 | 申请日期 | 2009.08.26 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 胡文祥 |
| 分类号 | B25J15/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | B25J15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种用于抓取晶圆的机械手，其特征在于，包括至少两个凸起部，所述每一个凸起部具有开口，所述开口中设置有滚轴。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||