发明名称 DISCHARGING METHOD OF SEMICONDUCTOR CHIP AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号 KR101023935(B1) 申请公布日期 2011.03.29
申请号 KR20090021640 申请日期 2009.03.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/66;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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