发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 KR101023666(B1) 申请公布日期 2011.03.25
申请号 KR20087018069 申请日期 2006.02.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/322;C30B29/06 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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