SINGLE TYPE SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING PRESURE OF SUBSTRATE TREATING APPARATUS,申请号KR20080105810-传众专利搜索

发明名称	SINGLE TYPE SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING PRESURE OF SUBSTRATE TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR101023067(B1)	申请公布日期	2011.03.24
申请号	KR20080105810	申请日期	2008.10.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;H01L21/304	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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