发明名称 Optische Ablenkeinheit für scannende, ophthalmologische Mess- und Therapiesysteme
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Ablenkeinheit für, beispielsweise durch Laser oder Superlumineszenz-Dioden erzeugte, gerichtete Strahlung in scannenden, ophthalmologischen Mess- und Therapiesystemen. Die erfindungsgemäße optische Ablenkeinheit für ophthalmologische Diagnose- und Therapiegeräte besteht aus einem Ablenkspiegel, einem Positionssensor und einer Ansteuereinheit, die einen Regelkreis zur Minimierung der Abweichung der vom Positionssensor erfassten, tatsächlichen Lagen von den angestrebten Lagen des Ablenkspiegels bilden, bei dem die optische Ablenkeinheit aus einem von berührungslosen, elektro-magnetischen Antrieben um mindestens eine Drehachse schwingend bewegbaren Ablenkspiegel besteht, der in Richtung der mindestens einen Drehachse zwischen mindestens zwei Lagern angeordnet ist. Obwohl die optische Ablenkeinheit für ophthalmologische Anwendungen, insbesondere für Biometriesysteme vorgesehen ist, kann es bei einer schmiermittelfreien Ausführung auch zu Strahlführungen in Hoch- und Ultrahochvakuumanlagen, wie beispielsweise in UV- oder EUV-Belichtungsanlagen für die Halbleiterlithographie eingesetzt werden. Hierbei ist auch günstig, dass der Antrieb über stationäre Elektromagnete erfolgt, bei denen die Wärmedissipation im Vakuum deutlich einfacher ist als bei mitbewegten Systemen.
申请公布号 DE102009041995(A1) 申请公布日期 2011.03.24
申请号 DE200910041995 申请日期 2009.09.18
申请人 CARL ZEISS MEDITEC AG 发明人 ANTKOWIAK, GERARD;PABST, THOMAS;EBERSBACH, RALF;WEIGAND, HEINO;HACKER, MARTIN
分类号 G02B26/08;A61B3/10 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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