| 摘要 |
<p>【課題】複数のイオンビーム引出し孔が整列されたイオンガンにおいて、イオンビーム電流密度を均一にする。【解決手段】カソード１０及びアノード２０からなるプラズマ生成手段、並びにプラズマ生成手段によって生成されたプラズマからイオンビームを引き出すグリッド３０を備えたイオンガンを構成する。該イオンガンにおいて、カソードは、一対のフィラメント電極１３間に架設されたフィラメント１２からなり、グリッドが、フィラメントに平行に配列された複数のイオンビーム引出し孔を有し、フィラメント１２の両端部を含む単位空間当たりの発熱量がフィラメント１２の部を含む単位空間当たりの発熱量のよりも大きくなるようにした。【選択図】図４Ａ</p> |
