Waferträger mit Nabe,申请号DE200811003349T-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Waferträger mit Nabe
摘要
申请公布号	DE112008003349(T5)	申请公布日期	2011.03.24
申请号	DE200811003349T	申请日期	2008.12.01
申请人	VEECO INSTRUMENTS INC.	发明人	BOGUSLAVSKIY, VADIM;GURARY, ALEXANDER I.;MOY, KENG;ARMOUR, ERIC A.
分类号	H01L21/205;H01L21/677	主分类号	H01L21/205
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