一种导电涂膜模板的制备装置

摘要

本实用新型公开了一种导电涂膜模板的制备装置，其特征是包括包括锅炉、导电材料进管、涂膜容器、出管、氮气清洗系统、磁偶驱动器、托盘支座、托盘、铜电极、直流电源、惰性气体进管、压力检测器。锅炉将导电材料加热溶化形成气体，通过导电材料进管进入涂膜容器，涂膜容器中部设置铜电极，铜电极与直流电源联接，涂膜容器上端设置惰性气体进管，铜电极上方设置压力检测器，涂膜容器下部设置托盘，支撑托盘的托盘支座设置磁偶驱动器，涂膜后的残余气体通过出管进入氮气清洗系统。本实用新型工艺简单，实用性强。

主权项

一种导电涂膜模板的制备装置，其特征是包括锅炉、导电材料进管、涂膜容器、出管、氮气清洗系统、磁偶驱动器、托盘支座、托盘、铜电极、直流电源、惰性气体进管、压力检测器，锅炉将导电材料加热溶化形成气体，通过导电材料进管进入涂膜容器，涂膜容器中部设置铜电极，铜电极与直流电源联接，涂膜容器上端设置惰性气体进管，铜电极上方设置压力检测器，涂膜容器下部设置托盘，支撑托盘的托盘支座设置磁偶驱动器，涂膜后的残余气体通过出管进入氮气清洗系统。