发明名称 PHOTOELECTRIC INCREMENTAL TRANSDUCER FOR 4-PHASE SIGNALS COMPRISING MEANS FOR GEOMETRICALLY SPLITTING THE LIGHT BEAMS
摘要
申请公布号 US3573468(A) 申请公布日期 1971.04.06
申请号 USD3573468 申请日期 1969.10.16
申请人 ERNST LEITZ GMBH. 发明人 KARL LANG
分类号 G01D5/347;G01D5/38;(IPC1-7):H01J3/14;G01D5/34;H01J39/12 主分类号 G01D5/347
代理机构 代理人
主权项
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