| 发明名称 | 颗粒自动控制方法及系统 | ||
| 摘要 | 一种颗粒自动控制方法及系统。其中颗粒自动控制方法，包括：获取晶圆表面或工艺环境中颗粒的特性值；设置颗粒个数的允许上限值；计算信号值，所述信号值与颗粒个数和颗粒个数的允许上限值有关联；根据信号值分析颗粒控制情况，在任意三个连续信号值中有两个为异常值，判定为颗粒超标。本发明的“三点法”原则能直接应用SPC软件进行分析实现对颗粒的自动控制，而无需将另外投资其他软件，使资源能够共享。 | ||
| 申请公布号 | CN101989534A | 申请公布日期 | 2011.03.23 |
| 申请号 | CN200910056031.8 | 申请日期 | 2009.08.06 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 王邕保 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种颗粒自动控制方法，其特征在于，包括：获取晶圆表面或工艺环境中颗粒的特性值；设置颗粒个数的允许上限值；计算信号值，所述信号值与颗粒个数和颗粒个数的允许上限值有关联；根据信号值分析颗粒控制情况，在任意三个连续信号值中有两个为异常值，判定为颗粒超标。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||