晶圆级相机模组的镀膜方法及晶圆级相机模组

摘要

本发明提供一种晶圆级相机模组的镀膜方法，其包括以下步骤：提供一个晶圆级相机模组，其具有一个光学区和外表面，该光学区通光，该外表面包括该光学区的显露在外的表面，以及整个晶圆级相机模组显露在外的表面；于该外表面镀遮光层；于该遮光层上涂覆一层光阻层；通过曝光显影去除该光学区所在区域的光阻层；沿平行于光轴的方向蚀刻该光学区所在区域的遮光层，以显露该光学区；去除剩余的光阻层。本发明还提供一种晶圆级相机模组。本发明提供的镀膜方法可有效控制非镀膜区域的大小及位置。

主权项

一种晶圆级相机模组的镀膜方法，其包括以下步骤：提供一个晶圆级相机模组，其具有一个光学区和外表面，该光学区通光，该外表面包括该光学区的显露在外的表面，以及整个晶圆级相机模组显露在外的表面；于该外表面镀遮光层；于该遮光层上涂覆一层光阻层；通过曝光显影去除该光学区所在区域的光阻层；沿平行于光轴的方向蚀刻该光学区所在区域的遮光层，以显露该光学区；去除剩余的光阻层。