发明名称 超声波扫描的样品托盘
摘要 本发明公开了一种超声波扫描的样品托盘,包括盘体和盘架,所述盘体和盘架彼此分离,盘体和盘架具有用于相互固定的结构,且所述盘体具有用于放置待测样品的凹槽。本发明提出的样品托盘具有放置待测样品的凹槽,待测样品的排列非常整齐,扫描结果更为整洁、清晰、直观;只要将待测样品放置在盘体的凹槽中即可,无需对待测样品摆放的位置进行过多调整,有效缩短扫描时芯片的摆放时间;待测样品一旦放置,就不会受外力影响而移动,有效的解决芯片扫描时因外部应力造成摆动的问题;使用灵活方便,对于不同形状的待测样品,只要事先定制与之对应的盘体即可。
申请公布号 CN101988916A 申请公布日期 2011.03.23
申请号 CN200910055934.4 申请日期 2009.08.05
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 李刚;张欣辉
分类号 G01N29/22(2006.01)I;G01N29/04(2006.01)I 主分类号 G01N29/22(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 谢安昆;宋志强
主权项 一种超声波扫描的样品托盘,包括盘体和盘架,其特征在于,所述盘体和盘架彼此分离,盘体和盘架具有用于相互固定的结构,且所述盘体具有用于放置待测样品的凹槽。
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