发明名称 |
超声波扫描的样品托盘 |
摘要 |
本发明公开了一种超声波扫描的样品托盘,包括盘体和盘架,所述盘体和盘架彼此分离,盘体和盘架具有用于相互固定的结构,且所述盘体具有用于放置待测样品的凹槽。本发明提出的样品托盘具有放置待测样品的凹槽,待测样品的排列非常整齐,扫描结果更为整洁、清晰、直观;只要将待测样品放置在盘体的凹槽中即可,无需对待测样品摆放的位置进行过多调整,有效缩短扫描时芯片的摆放时间;待测样品一旦放置,就不会受外力影响而移动,有效的解决芯片扫描时因外部应力造成摆动的问题;使用灵活方便,对于不同形状的待测样品,只要事先定制与之对应的盘体即可。 |
申请公布号 |
CN101988916A |
申请公布日期 |
2011.03.23 |
申请号 |
CN200910055934.4 |
申请日期 |
2009.08.05 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
李刚;张欣辉 |
分类号 |
G01N29/22(2006.01)I;G01N29/04(2006.01)I |
主分类号 |
G01N29/22(2006.01)I |
代理机构 |
北京德琦知识产权代理有限公司 11018 |
代理人 |
谢安昆;宋志强 |
主权项 |
一种超声波扫描的样品托盘,包括盘体和盘架,其特征在于,所述盘体和盘架彼此分离,盘体和盘架具有用于相互固定的结构,且所述盘体具有用于放置待测样品的凹槽。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |