| 发明名称 | 一种用于蚀刻的废气处理装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于蚀刻的废气处理装置，包括蚀刻装置、废气抽取机构和废气过滤箱，所述蚀刻装置和废气过滤箱均为封闭的箱体，蚀刻装置通过废气管与废气抽取机构连接，废气抽取机构通过废气管与废气过滤箱连接，废气过滤箱外部还连接有排出管，所述排出管的管口外露于空气中；所述废气抽取机构还连接有驱动机构，所述废气过滤箱内装有废气处理液。本实用新型可对蚀刻产生的废气进行有效处理，从而保持保护周围环境空气清新，具有废气处理效果好、环境污染小、维护方便等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN201768485U | 申请公布日期 | 2011.03.23 |
| 申请号 | CN201020139143.8 | 申请日期 | 2010.03.19 |
| 申请人 | 东莞市平波电子有限公司 | 发明人 | 李林波 |
| 分类号 | B01D53/78(2006.01)I;B01D53/40(2006.01)I;B01D53/42(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/78(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人 | 杨晓松 |
| 主权项 | 一种用于蚀刻的废气处理装置，其特征在于：包括蚀刻装置、废气抽取机构和废气过滤箱，所述蚀刻装置和废气过滤箱均为封闭的箱体，蚀刻装置通过废气管与废气抽取机构连接，废气抽取机构通过废气管与废气过滤箱连接，废气过滤箱外部还连接有排出管，所述排出管的管口外露于空气中；所述废气抽取机构还连接有驱动机构，所述废气过滤箱内装有废气处理液。 | ||
| 地址 | 523935 广东省东莞市虎门镇路东社区新安大道50号厂房第六层 | ||