| 发明名称 |
MULTI DEPTH SUBSTRATE FABRICATION PROCESSES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1279071(B1) |
申请公布日期 |
2011.03.23 |
| 申请号 |
EP20010932865 |
申请日期 |
2001.05.01 |
| 申请人 |
CALIPER LIFE SCIENCES, INC. |
发明人 |
MC REYNOLDS, RICHARD, J. |
| 分类号 |
G03F7/26;B81C1/00;G03F7/20;G03F7/40 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
