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发明名称 PRECURSOR SOLUTION, METHOD OF PREPARATION THEREOF AND USE THEREOF
摘要
申请公布号 EP1644971(B1) 申请公布日期 2011.03.23
申请号 EP20040744454 申请日期 2004.07.01
申请人 NXP B.V. 发明人 MEYER, JOERG;KLEE, MEREIKE, K.;KIEWITT, RAINER
分类号 H01L21/316;C04B35/491;C04B35/495;C04B35/624;C23C18/12;H01L41/16 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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