MIM电容器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种MIM电容器的制作方法，包括如下步骤：准备基底，该基底具有顶部和向外凸出的侧部；在基底顶部形成下极板金属；在基底顶部与侧部形成电介质层，该电介质层覆盖下极板金属；在电介质层上形成过渡层，该过渡层具有增强电介质层与上极板金属粘接力的作用；采用化学机械平坦化工艺去除基底顶部的过渡层，出露电介质层，保留基底侧部的过渡层；在出露的电介质层和过渡层上形成上极板金属。由于上述技术方案的实施，使得上极板金属与电介质层之间连接牢固，上极板金属不会发生剥落现象，能够提高MIM电容器的良率；并且，由于特殊工艺的采用，电容器的性质不受影响。

主权项

一种MIM电容器，包括基底，所述的基底具有顶部和向外凸出的侧部，还包括形成在基底顶部的下极板金属、形成在基底顶部和侧部的电介质层、形成在电介质层上的上极板金属，所述的电介质层覆盖下极板金属，其特征在于：位于基底侧部的电介质层与上极板金属之间还形成有用于提高二者粘接力的过渡层。