| 发明名称 | 图像传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种图像传感器及其制造方法。该图像传感器可包括：半导体衬底，包括光接收元件；金属互连层，具有沟槽；引导图案，位于沟槽侧壁上；以及滤色镜，位于沟槽中。由于可在沟槽中形成滤色镜，所以可减少光程的长度，从而改善图像传感器的性能。 | ||
| 申请公布号 | CN101447499B | 申请公布日期 | 2011.03.23 |
| 申请号 | CN200810181935.9 | 申请日期 | 2008.11.28 |
| 申请人 | 东部高科股份有限公司 | 发明人 | 郑圣勋 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 郑小军;冯志云 |
| 主权项 | 一种图像传感器，包括：半导体衬底，包括第一光接收元件；金属互连层，位于所述半导体衬底上，其中所述金属互连层包括第一沟槽；引导图案，设置在所述第一沟槽的侧壁上；以及第一光致抗蚀剂滤色镜，位于所述第一沟槽中，其中，至少部分所述第一沟槽位于所述第一光接收元件上方，其中，至少部分所述第一光致抗蚀剂滤色镜位于所述第一光接收元件上方。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||