| 发明名称 | 一种蒸镀盘座 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体工艺制程装置，提供一种蒸镀盘座，包括底座和设于底座之上的支撑架，支撑架内设有滑动轴承。本实用新型结构简单，使用方便，蒸镀盘置于其上转动灵活，上下货时省时省力，能有效提高生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN201770770U | 申请公布日期 | 2011.03.23 |
| 申请号 | CN201020273658.7 | 申请日期 | 2010.07.23 |
| 申请人 | 元茂光电科技(武汉)有限公司 | 发明人 | 胡泰祥 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 武汉天力专利事务所 42208 | 代理人 | 吴晓颖;冯卫平 |
| 主权项 | 一种蒸镀盘座，包括底座和设于底座之上的支撑架，其特征是：支撑架内设有滑动轴承。 | ||
| 地址 | 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区滨湖路17号 | ||