发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 EP1152452(B1) 申请公布日期 2011.03.23
申请号 EP20000901927 申请日期 2000.01.27
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ANDO, YOICHI
分类号 H01J29/02;H01J29/86;H01J31/12 主分类号 H01J29/02
代理机构 代理人
主权项
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