| 发明名称 |
DEPOSITION SYSTEM FOR THIN FILM FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2191035(B1) |
申请公布日期 |
2011.03.23 |
| 申请号 |
EP20080833340 |
申请日期 |
2008.09.24 |
| 申请人 |
EASTMAN KODAK COMPANY |
发明人 |
KERR, ROGER STANLEY;LEVY, DAVID HOWARD |
| 分类号 |
H01L21/314;C23C16/455;C30B35/00;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/314 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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