液体处理装置和液体处理方法

摘要

本发明提供液体处理装置和液体处理方法。该液体处理装置能够减少液体的使用量，并且，能够抑制被处理体之间的处理程度的偏差。液体处理装置(10)具有主配管(20)、与主配管(20)连接的液体供给机构(40)、设置在主配管上的主开闭阀(22)、自主配管分支而成的多个分支管(25)、与各分支管连接的多个处理单元(50)。液体供给机构具有设置在主配管上的混合器(43)、用于供给第1液体的第1液体供给管(41b)、用于供给第2液体的第2液体源(42a)，该液体供给机构从一侧向主配管供给在混合器内由第1液体和第2液体混合而成的混合液。在处理单元内处理被处理体时，主开闭阀相对于液体供给机构从另一侧封闭主配管。

主权项

一种液体处理装置，其中，具有：主配管；液体供给机构，其具有设置在上述主配管上的混合器、用于向上述混合器供给第1液体的第1液体供给管以及用于向上述混合器供给第2液体的第2液体源，其从一侧向上述主配管供给在上述混合器内由上述第1液体和上述第2液体混合而成的混合液；主开闭阀，其设置在上述主配管上，能够相对于上述液体供给机构从另一侧封闭上述主配管；多个分支管，其是在上述液体供给机构和上述主开闭阀之间的区间内分别自上述主配管分支而成的；以及多个处理单元，分别与各分支管相对应设置，其使用通过对应的分支管所供给的混合液来处理被处理体；在上述处理单元中的任一个中处理被处理体时，上述主开闭阀相对于上述液体供给机构从另一侧封闭上述主配管。