脆性材料的划线方法以及划线装置

摘要

本发明涉及脆性材料的划线方法以及划线装置。在划线装置中，由该划线装置的激光束形成的照射部分，是利用具有由高斯分布构成的照射能量分布的激光束而形成的，在以剖分预定线为中心轴的情况下，所述照射能量分布具有以所述中心轴为中心互相离开宽度(W)的两个峰值部分，并且两个峰值部分之间的照射能量为0。

主权项

一种脆性材料的划线方法，该脆性材料的划线方法是沿设定在脆性材料上的剖分预定线，一边使激光束相对于所述材料相对地移动一边进行照射，以将所述材料加热到比其软化点低的温度，接下来通过冷却使沿着剖分预定线的垂直裂缝从形成在所述材料上的初始裂纹开始伸展和伸长，其特征在于，将受到激光束照射的照射部分形成在剖分预定线的两侧，将未受到激光束照射的非照射部分形成在剖分预定线上，接下来在剖分预定线上进行局部冷却，照射部分由以剖分预定线为中心而在两侧形成的一对光束点构成，所述照射部分分别具有直线状的长边部，所述长边部距剖分预定线具有等距离，在最接近剖分预定线处与剖分预定线平行地延伸。