平板玻璃基板的减薄方法及装置

摘要

本发明涉及一种平板玻璃基板的减薄方法及装置，首先，蚀刻液在药剂配比槽内进行混配和温度处理；配好的蚀刻液被快速抽入蚀刻槽中，将玻璃基板放入蚀刻槽中，采用鼓泡和蚀刻液自循环的方式对玻璃基板进行蚀刻；蚀刻后将玻璃基板取出，蚀刻液快速倒入暂存槽进行暂存并沉淀，以备下次蚀刻玻璃基板时，重新配比并使用；对完成蚀刻减薄后的玻璃基板进行清洗、干燥，并进行抛光。本发明提供了一种平板玻璃基板的减薄方法及装置，通过采用药剂循环及鼓泡的蚀刻方法，可以实现玻璃基板的均匀蚀刻，并达到批量生产的目的，以提供薄型玻璃基板产品，并提高良品率及量产性。

主权项

一种平板玻璃基板的减薄装置，其特征在于包括：药剂配比槽，用于混配和温度处理蚀刻液；蚀刻槽，用于采用鼓泡方式和循环方式蚀刻玻璃基板，与所述药剂配比槽相连接；至少一个暂存槽，用于暂存并沉淀蚀刻残液，与所述蚀刻槽和药剂配比槽相连接；所述蚀刻槽包括：至少一个进液口和一个抽液口，用于所述蚀刻液在蚀刻槽中自循环；鼓泡板，用于产生均匀鼓泡气体，使所述蚀刻液均匀流动；制冷盘管，用于降低蚀刻所述玻璃基板时的蚀刻温度，使蚀刻温度的变化在±0.5℃范围内。