用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统

摘要

本发明涉及一种用于对基板的缺陷进行区分的系统和方法，其中，该系统包括：至少一个照明单元，设置在透明或半透明的基板的其中一个表面的外侧并且用于向所述基板照射光；至少一个第一成像单元和至少一个第二成像单元，设置在所述基板的另一相对表面的外侧并且分别用于通过感测所述照明单元照射并透射通过所述基板的光来拍摄图像，其中所述第一成像单元的光轴和所述第二成像单元的光轴之间的夹角大于零；至少一个图像构建模块，用于分别根据所述第一成像单元所拍摄的图像和所述第二成像单元所拍摄的图像，构建所述基板的两个图像；以及，至少一个图像处理模块，用于当所述基板存在缺陷时，根据所述缺陷在所述构建的两个图像中的位置的相互关系，检测所述缺陷是位于所述基板的表面上的缺陷还是位于所述基板的内部的缺陷。利用该方法和系统，可以区分透明或半透明的基板的缺陷是位于基板表面上的缺陷还是位于基板内部的缺陷。

主权项

一种用于对基板的缺陷进行区分的系统，包括：至少一个照明单元，设置在透明或半透明的基板的其中一个表面的外侧并且用于向所述基板照射光；至少一个第一成像单元和至少一个第二成像单元，设置在所述基板的另一相对表面的外侧并且分别用于通过感测所述照明单元照射并透射通过所述基板的光来拍摄图像，其中所述第一成像单元的光轴和所述第二成像单元的光轴之间的夹角大于零；至少一个图像构建模块，用于分别根据所述第一成像单元所拍摄的图像和所述第二成像单元所拍摄的图像，构建所述基板的两个图像；以及至少一个图像处理模块，用于当所述基板存在缺陷时，根据所述缺陷在所述构建的两个图像中的位置的相互关系，检测所述缺陷是位于所述基板的表面上的缺陷还是位于所述基板的内部的缺陷。