超净高纯级氟化铵溶液制备装置

摘要

本实用新型涉及一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置，其特征在于：它包括液氨储罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、过滤器(6)、成品桶(7)、氢氟酸桶(8)、纯化水桶(9)和水浴槽(10)。本实用新型超净高纯级氟化铵溶液制备装置，将液氨汽化为氨气，再经二级水洗以除去金属与非金属杂质，然后，将经过处理的氨气通入吸收桶与氢氟酸溶液反应，并经过混合罐混合后，过滤分装制得超净高纯级氟化铵溶液，其能满足微电子领域使用要求。

主权项

一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置，其特征在于：它包括液氨储罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、过滤器(6)、成品桶(7)、氢氟酸桶(8)、纯化水桶(9)和水浴槽(10)；所述液氨储罐(1)出口与第一水洗桶(2)进口相连，所述第一水洗桶(2)出口与第二水洗桶(3)进口相连，所述第二水洗桶(3)出口与吸收桶(4)进口相连，所述吸收桶(4)出口与混合罐(5)进口相连，所述混合罐(5)出口与过滤器(6)进口相连，所述过滤器(6)出口与成品桶(7)相连；所述吸收桶(4)置于水浴槽(10)中，所述吸收桶(4)上连接有氢氟酸桶(8)和纯化水桶(9)。