Semiconductor wafer holding apparatus,申请号EP19980120148-传众专利搜索

发明名称	Semiconductor wafer holding apparatus
摘要
申请公布号	EP0915499(B1)	申请公布日期	2011.03.23
申请号	EP19980120148	申请日期	1998.10.27
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	FURUYA, KUNIHIRO;YONEZAWA, TOSHIHIRO;INOUE, KEN;NAKAGOMI, YOICHI
分类号	H01L21/00	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
主权项
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