发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 CH507589(A) 申请公布日期 1971.05.15
申请号 CH19700008978 申请日期 1970.06.15
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DR. FALCKENBERG,RICHARD,DIPL.-PHYS.
分类号 B26F3/00;B28D5/00;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):H01L7/66 主分类号 B26F3/00
代理机构 代理人
主权项
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