激光刻划平台与杂合书写策略

摘要

激光刻划可在如具有多层在其上形成而用于太阳能面板的基板的工件(104)上执行，而无须在刻划制程期间旋转工件(104)。一系列激光器(602、622)可用来并行地从工件(104)上的多个位置去除材料。各激光器(602、622)可具有至少一台扫描装置(614、630、632)，其沿该激光器的光束路径定位以调整该激光器输出相对于该工件(104)的位置。通过在平移该工件(104)时使用扫描装置(614、630、632)调整光束或脉冲的位置，实质上可刻划任何图案进入至该工件(104)的至少一层，无须该工件(104)的任何旋转。

主权项

一种用于刻划工件的系统，该工件包含基板及至少一层，该工件用于形成太阳能电池，该系统包含：平移平台，其可操作以支撑该工件及在纵向方向中平移该经支撑工件；激光器，其可操作以产生能从该工件的至少一层去除材料的输出；扫描装置，其可操作以控制来自该激光器的输出的位置；及控制器，其耦合该平移平台、该激光器及该扫描装置，其中该控制器可操作以统合该平移平台的位置与来自该激光器的输出的产生及来自该激光器的输出的扫描位置，且其中二维中的图案能在该工件上刻划而无须旋转该工件。