结构基板、传送装置和对盒装置

摘要

本发明涉及一种结构基板、传送装置和对盒装置。结构基板包括形成在基板一侧表面上的结构层，基板上还形成有在磁化状态下使结构基板被电磁吸附的磁化层。传送装置包括对结构基板中的磁化层进行磁化处理的施磁装置和进行消磁处理的消磁装置，施磁装置与消磁装置之间设置有通过电磁吸附方式吸附并传送基板的机械手臂。对盒装置包括第一基台和第二基台，第一基台与第二基台相对设置，还包括对结构基板中的磁化层进行磁化处理的施磁装置和进行消磁处理的消磁装置，第一基台和/或第二基台为通过电磁吸附方式吸附结构基板的电磁吸附基台。本发明通过设置磁化层，使结构基板可在真空环境中安全可靠地传送和对盒，降低了生产中的破损。

主权项

一种结构基板，包括形成在基板一侧表面上的结构层，其特征在于，所述基板上还形成有在磁化状态下使结构基板被电磁吸附的磁化层。