发明名称 衍射光学元件
摘要 本发明提供一种衍射光学元件及其制造方法。所述衍射光学元件包括一个基片,所述基片一面具有第一光栅结构,所述第一光栅结构具有第一周期的第一刻槽,所述基片的另一面具有第二光栅结构,所述第二光栅结构具有第二周期的第二刻槽,所述第一光栅结构和第二光栅结构用于将空间低频光线调制为空间高频光线,所述第一光栅结构的槽轮廓的结构函数为f<sub>1</sub>(x),所述第二光栅结构的槽轮廓的结构函数为f<sub>2</sub>(x),其中,<img file="200710202379.4_ab_0.GIF" wi="424" he="62" />d<sub>1</sub>为所述第一光栅结构的周期,<img file="200710202379.4_ab_1.GIF" wi="151" he="59" />λ<sub>1</sub>为入射光波长,α<sub>1</sub>为两相干光束夹角的一半,n<sub>1</sub>为折射率,<img file="200710202379.4_ab_2.GIF" wi="425" he="65" />d<sub>2</sub>为所述第二光栅结构的周期,<img file="200710202379.4_ab_3.GIF" wi="159" he="64" />λ<sub>2</sub>为入射光波长,n<sub>2</sub>为折射率,α<sub>2</sub>为两相干光束夹角的一半。
申请公布号 CN101430394B 申请公布日期 2011.03.23
申请号 CN200710202379.4 申请日期 2007.11.05
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 张仁淙
分类号 G02B5/18(2006.01)I 主分类号 G02B5/18(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1.一种衍射光学元件,其特征在于:包括一个基片,所述基片一面具有第一光栅结构,所述第一光栅结构具有第一周期的第一刻槽,所述基片的另一面具有第二光栅结构,所述第二光栅结构具有第二周期的第二刻槽,所述第一光栅结构和第二光栅结构用于将空间低频光线调制为空间高频光线,所述第一光栅结构的槽轮廓的结构函数为f<sub>1</sub>(x),所述第二光栅结构的槽轮廓的结构函数为f<sub>2</sub>(x),其中,<img file="FDA0000028022390000011.GIF" wi="943" he="124" />d<sub>1</sub>为所述第一光栅结构的周期,<img file="FDA0000028022390000012.GIF" wi="310" he="120" />λ<sub>1</sub>为入射光波长,α<sub>1</sub>为两相干光束夹角的一半,n<sub>1</sub>为折射率,<img file="FDA0000028022390000013.GIF" wi="955" he="124" />d<sub>2</sub>为所述第二光栅结构的周期,<img file="FDA0000028022390000014.GIF" wi="323" he="120" />λ<sub>2</sub>为入射光波长,n<sub>2</sub>为折射率,α<sub>2</sub>为两相干光束夹角的一半。
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