镀膜基片前置处理装置及前置处理方法

摘要

本发明提供一种镀膜基片前置处理装置，其包括机械手传输单元、基片输入单元、基片输出单元、基片翻转单元、连接通道、控制装置及抽真空系统，机械手传输单元包括传输腔、机械手驱动装置及机械手，机械手收容于传输腔内，机械手驱动装置驱动机械手在传输腔内做圆周旋转及伸缩运动，基片翻转单元内设有对基片进行翻转的翻转装置，基片输入单元、基片输出单元、基片翻转单元均通过连接通道与传输腔连通，抽真空系统在控制装置的作用下调节基片输入单元或基片输出单元的真空度，机械手将基片从基片输入单元送入基片翻转单元内将基片翻转一百八十度，机械手再将基片送入到基片输出单元内从而送出基片。本发明还公开了一种对基片进行镀膜的前置处理方法。

主权项

一种镀膜基片前置处理装置，用于对基片镀膜前的传输及翻转，其特征在于：所述镀膜基片前置处理装置包括机械手传输单元、基片输入单元、基片输出单元、基片翻转单元、连接通道、控制装置及抽真空系统，基片输入单元、基片输出单元及基片翻转单元分布于以机械手传输单元为圆心的圆上，机械手传输单元包括传输腔、机械手驱动装置及至少一个可伸缩的机械手，机械手驱动装置与机械手连接，传输腔呈中空结构，机械手收容于传输腔内，机械手驱动装置驱动机械手在传输腔内做圆周旋转及伸缩运动，所述基片翻转单元内设有对基片进行翻转的翻转装置，基片输入单元、基片输出单元、基片翻转单元均通过连接通道与传输腔连通，连接所述传输腔与所述基片输入单元的连接通道内设置有第一阀门，连接所述传输腔与所述基片输出单元的连接通道内设置有第二阀门，所述控制装置分别与第一阀门及第二阀门电连接并分别控制二者打开或关闭，所述抽真空系统与所述控制装置电连接并分别独立地与所述基片输入单元及所述基片输出单元连通，所述抽真空系统在所述控制装置的作用下调节所述基片输入单元或所述基片输出单元的真空度，所述机械手将基片从基片输入单元送入所述基片翻转单元内，所述基片翻转单元通过所述翻转装置将基片翻转一百八十度，基片翻转后所述机械手将基片送入到所述基片输出单元内，所述基片输出单元将基片送出。