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发明名称
ACTUATOR, POSITIONING SYSTEM AND LITHOGRAPHIC APPARATUS.
摘要
申请公布号
NL2005240(A)
申请公布日期
2011.03.23
申请号
NL20102005240
申请日期
2010.08.18
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.,
发明人
HOL, SVEN;GROOT, ANTONIUS;CADEE, THEODORUS;KESSELS, MARIJN;HOBBELEN, DAAN
分类号
G03F7/20;H01L21/68
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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