包括清洁单元的阵列测试装置

摘要

提供了一种检测形成在显示器基板上的电极中的缺陷的阵列测试装置。探针组件包括探针棒和探针框架。探针棒包括探针引脚，用于将电压施加到形成在所述显示器基板上的电极上。探针框架联接到探针棒，使得探针棒能够相对所述基板在一个方向上移动，所述探针框架与所述清洁单元连接。因此，利用清洁单元，可以去除可能在阵列测试过程中传送基板或者操作探针组件期间额外产生的异物，因而可以提高测试可靠性。

主权项

一种阵列测试装置，包括：探针组件，配置为将电压施加到形成在基板上的电极以测试所述电极中的缺陷，并且包括位于探针组件一侧上的清洁单元。