研磨液的配制装置

摘要

本实用新型涉及一种容置液体的装置，尤其涉及一种研磨液的配制装置。这种研磨液的配制装置，包括容器和分别接入所述容器的水管、原液管和化学药剂管，所述容器的内腔上部设有向下喷雾的喷嘴，所述喷嘴与所述水管相连接。这种研磨液的配制装置由于在容器的顶部设置喷嘴，尤其是螺旋喷嘴，一方面可以以雾状形式将水管中的去离子水均匀添加到研磨液中，从而有效避免研磨液的浓度产生局部突变，而引发研磨液产生聚集形成大颗粒物质，以致接下来的工艺中划伤晶圆。另一方面，喷嘴的喷雾也可以有效冲洗容器内壁，去除附着在容器内壁的研磨液。同时，可以保持容器内壁处于湿润状态，在一定程度上也起到防止研磨液结晶的作用。

主权项

一种研磨液的配制装置，包括容器和分别接入所述容器的水管、原液管和化学药剂管，其特征在于，所述容器的内腔上部设有向下喷雾的喷嘴，所述喷嘴与所述水管相连接。