发明名称 |
旋转头、旋转头中用的夹持销和用旋转头处理基材的方法 |
摘要 |
本发明提供一种支撑基材的旋转头。该旋转头包括可转动的主体以及从该主体向上伸出并用于在该主体旋转时支撑置于该主体上的基材的边缘的夹持销。每个夹持销包括:垂直设置在该主体上的垂直杆以及从该垂直杆一侧伸出并用于在该主体旋转时与置于该主体上的基材的边缘接触的支撑杆。当该基材旋转时,该垂直杆与该基材的边缘分隔开。该支撑杆包括接触部。该接触部包括流线型的侧面。当从该支撑杆的上方观察时,该接触部朝该支撑杆的端部渐缩。 |
申请公布号 |
CN101409252B |
申请公布日期 |
2011.03.23 |
申请号 |
CN200810145786.0 |
申请日期 |
2008.08.19 |
申请人 |
细美事有限公司 |
发明人 |
李雨锡;金禹永;裴正龙 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 |
代理人 |
梁兴龙;陈桂香 |
主权项 |
一种支撑基材的旋转头,其包括:可转动的主体;以及从所述主体向上伸出并用于在所述主体旋转时支撑置于所述主体上的基材的边缘的夹持销,其中每个夹持销包括:垂直设置在所述主体上的垂直杆;以及从所述垂直杆一侧伸出并用于在所述主体旋转时与置于所述主体上的基材的边缘接触的支撑杆。 |
地址 |
韩国忠清南道 |