一种修补聚合物掩模的方法

摘要

描述、示出并主张了一种对用于光刻工艺的图案的聚合物掩模进行修补的方法。一般地，聚合物掩模具有两类缺陷，在透明聚合物衬底上的墨斑以及在图案区域的油墨气孔。墨斑通过激光的有效烧蚀来修补，该激光基本不影响聚合物衬底的透明度。油墨气孔的修补是通过多种使用激光辅助的修补工艺的实施方式而完成的，其中，该激光辅助的修补修复了气孔，从而在光刻曝光时阻挡UV光。

主权项

一种对用于光刻工艺的构图的聚合物掩模上的缺陷进行修补的方法，包括：提供具有第一表面和第二表面的透明的聚合物衬底以及位于所述聚合物衬底的所述第一表面上的非透明的图案层；在所述图案层上检测气孔缺陷；在所述气孔缺陷上辐射激光从而形成盲孔；以及在所述盲孔中填充非透明的填充油墨。