用于检查试样表面的方法、装置以及荧光物质的应用

摘要

本发明涉及一种检查试样表面的方法。该方法包括以下步骤：朝向试样表面方向产生多束初级射线束；将所述多束初级射线束聚焦在试样表面上的各个位置；收集由初级射线束入射到试样表面而产生的多束带电粒子的次级射线束；将所收集的次级射线束的至少之一转换成光束；以及检测该光束。

主权项

检查试样表面的方法，包括以下步骤：朝向所述试样表面方向产生多束初级射线束；将所述多束初级射线束聚焦在所述试样表面上的各个位置；收集由所述初级射线束入射到所述试样表面而产生的多束次级射线束；将收集的所述次级射线束的至少之一转换成光束；以及检测所述光束，其中，所述检测步骤包括用光学检测器检测所述光束，并且所述转换步骤包括将在一个平面收集的所述次级射线束的至少之一转换成所述光束，所述光束通过自由空间被成像，其中所述光束在所述光学检测器所处的平面上与所述初级射线束的至少之一相交。