发明名称 PERIPHERALLY ENGAGING ELECTRODE CARRIERS AND ASSEMBLIES INCORPORATING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20110028641(A) 申请公布日期 2011.03.21
申请号 KR20117002392 申请日期 2009.06.26
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 AUGUSTINO JASON;AVOYAN ARMEN;FANG YAN;OUTKA DUANE;SHIH HONG;WHITTEN STEPHEN
分类号 H05H1/34 主分类号 H05H1/34
代理机构 代理人
主权项
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