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发明名称 Al-GROUP ALLOY SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR101023597(B1) 申请公布日期 2011.03.21
申请号 KR20090027332 申请日期 2009.03.31
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C22C21/00;H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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