| 摘要 |
Тигель для выращивания монокристалла карбида кремния методом сублимации, состоящий из разъемного стакана с крышкой, внутри которого размещен формообразователь в виде полой усеченной конической втулки с цилиндрическим бортиком в верхней части, имеющий внутри фигурный канал, поверхность которого покрыта тугоплавким защитным слоем, при этом верхняя часть канала имеет цилиндрическую форму, а одна из его частей - форму усеченного конуса с углом наклона, ответным углу наклона боковой стенки формообразователя, отличающийся тем, что дополнительно к крышке прикреплен графитовый диск под формообразователь и затравочный кристалл, причем формообразователь при помощи бортика подвешен на кольцевом выступе в верхней части стакана, при этом в цилиндрическом бортике фигурный канал под верхней цилиндрической частью дополнительно имеет уменьшенную цилиндрическую среднюю часть, а внутри втулки - его нижнее продолжение в виде усеченного конуса с углом наклона боковой стенки фигурного канала к оси устройства 10-21°, при этом поверхность фигурного канала покрыта танталовой фольгой толщиной 200-700 мкм, а формообразователь выполнен с утлом наклона боковой стенки, ответным углу наклона боковой стенки фигурного канала. |
