摘要 |
L'invention concerne une membrane comprenant sur un substrat (10) un empilement de couches comportant au moins une couche de matériau piézoélectrique (30) disposée entre une couche d'électrode supérieure (E ) et une couche d'électrode inférieure (E ), caractérisée en ce qu'elle comprend au moins une première zone (R ,R , R ) et au moins une seconde zone (R , R , R ) , au moins une des couches d'électrodes (E , E ) étant discontinue dans la seconde zone de manière à créer un ensemble d'électrodes élémentaires dans un même plan pour l'application d'un champ électrique parallèle au plan des couches, le champ électrique applicable dans la première zone étant perpendiculaire au plan des couches et les zones étant telles que la déformation dans le plan des couches, du matériau piézoélectrique dans la première zone est de signe opposé à la déformation dans ledit plan, du matériau piézoélectrique dans la deuxième zone. L'invention concerne aussi un procédé de fabrication de la membrane. |