发明名称 MEMBRANE PIEZOELECTRIQUE A ACTIONNEMENT OPTIMISE ET PROCEDE DE FABRICATION DE LA MEMBRANE
摘要 L'invention concerne une membrane comprenant sur un substrat (10) un empilement de couches comportant au moins une couche de matériau piézoélectrique (30) disposée entre une couche d'électrode supérieure (E ) et une couche d'électrode inférieure (E ), caractérisée en ce qu'elle comprend au moins une première zone (R ,R , R ) et au moins une seconde zone (R , R , R ) , au moins une des couches d'électrodes (E , E ) étant discontinue dans la seconde zone de manière à créer un ensemble d'électrodes élémentaires dans un même plan pour l'application d'un champ électrique parallèle au plan des couches, le champ électrique applicable dans la première zone étant perpendiculaire au plan des couches et les zones étant telles que la déformation dans le plan des couches, du matériau piézoélectrique dans la première zone est de signe opposé à la déformation dans ledit plan, du matériau piézoélectrique dans la deuxième zone. L'invention concerne aussi un procédé de fabrication de la membrane.
申请公布号 FR2950197(A1) 申请公布日期 2011.03.18
申请号 FR20090004396 申请日期 2009.09.15
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 DEFAY EMMANUEL;LE RHUN GWENAEL
分类号 H01L41/113;H01L41/22;H01L41/29;H01L41/318 主分类号 H01L41/113
代理机构 代理人
主权项
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