| 摘要 |
<p>Mikromechanischer Drehratensensor, umfassend ein Substrat, dessen Grundfläche parallel zur x-y Ebene eines kartesischen Koordinatensystems (x, y, z) ausgerichtet ist, wobei der Drehratensensor zumindest eine erste und eine zweite seismi- sche Masse (1) aufweist, die mit wenigstens einer ersten An- triebseinrichtung (23) so gekoppelt sind und die so aufge- hängt sind (3, 4), dass die erste und die zweite seismische Masse (1) in einer Antriebsmode gegenphasig auslenkend angetrieben werden, wobei der Drehratensensor so ausgebildet ist, dass er Drehraten um zumindest zwei zueinander im Wesentlichen orthogonale sensitive Achsen (z, y) erfassen kann, wobei zumindest die erste und die zweite seismische Masse (1) so ausgebildet und aufgehängt sind, dass sie beim Erfassen einer ersten Drehrate um die erste sensitive Achse (y) in einer ersten Auslesemode gegenphasig schwingen und die erste und zweite seismische Masse (1) und/oder zusätzliche seismische Massen (10) so ausgebildet und aufgehängt (5, 7, 9, 11) sind, dass sie beim Erfassen einer zweiten Drehrate um die zweite sensitive Achse (z) in einer zweiten Auslesemode gegenphasig schwingen, wobei den seismischen Massen (1, 10) Ausleseeinrichtungen (15, 16, 17, 18, 19, 20, 21, 22) zugeordnet sind, die so ausgebildet und bezüglich der seismischen Massen (1, 10) angeordnet sind, dass sie die Auslenkungen der seismischen Massen (1, 10) hinsichtlich der ersten und hinsichtlich der zweiten Auslesemode jeweils in Phase und in Gegenphase erfassen.</p> |
