发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Aufbereiten eines Polierkissens
摘要
申请公布号 DE112005001772(B4) 申请公布日期 2011.03.17
申请号 DE200511001772T 申请日期 2005.07.15
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 WHISLER, WADE;LA BELLE, ADAM;SKOCYPEC, RANDY
分类号 B24B53/00;B24B37/04;B24B53/007;B24B53/12 主分类号 B24B53/00
代理机构 代理人
主权项
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