DOUBLE-AXIAL, IMPACT-RESISTANT YAW RATE SENSOR COMPRISING NESTED, LINEARLY OSCILLATING SEISMIC ELEMENTS

摘要

Mikromechanischer Drehratensensor, umfassend ein Substrat, dessen Grundfläche parallel zur x-y Ebene eines kartesischen Koordinatensystems (x, y, z) ausgerichtet ist, wobei der Drehratensensor zumindest eine erste (1) und eine zweite seismische Masse (2) aufweist, die mit wenigstens einer ersten Antriebseinrichtung (14) so gekoppelt sind und die so aufgehängt sind, dass die erste und die zweite seismische Masse (2) in einer Antriebsmode gegenphasig auslenkend angetrieben werden, wobei der Drehratensensor so ausgebildet ist, dass er Drehraten um zumindest zwei zueinander im Wesentlichen orthogonale sensitive Achsen (z, y) erfassen kann, wobei zumindest die zweite seismische Masse (2) als Rahmen ausgebildet ist, welcher die erste seismische Masse (1) bezüglich der Positionierung in der x-y-Ebene zumindest teilweise umfängt.