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发明名称 PLASMAVERARBEITUNGSGERÄT
摘要
申请公布号 DE60335951(D1) 申请公布日期 2011.03.17
申请号 DE20036035951 申请日期 2003.07.03
申请人 TOKYO ELECTRON LTD.;OHMI, TADAHIRO 发明人 OHMI, TADAHIRO;HIRAYAMA, MASAKI;GOTO, TETSUYA
分类号 H01L21/31;H05H1/46;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/511;H01J37/32 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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