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发明名称 Polysiliziumschicht-Entfernverfahren und Speichermedium
摘要
申请公布号 DE102009006397(B4) 申请公布日期 2011.03.17
申请号 DE200910006397 申请日期 2009.01.28
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 NAKAMORI, MITSUNORI
分类号 H01L21/306;C23F1/02;C30B33/08;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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