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发明名称 Transportvorrichtung für Substrate
摘要
申请公布号 DE202010016858(U1) 申请公布日期 2011.03.17
申请号 DE201020016858U 申请日期 2010.12.22
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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